有害气体净化方法大致分为洗涤法、吸附法、袋滤法、静电法、燃烧法和高空排放法。

  ①设计前必须确定有害于人体健康的物质的成分、含量和毒性等理化指标。②确定有害于人体健康的物质的净化目标和综合利用方向，应符合卫生标准和环境保护标准的规定。

  适用于净化CO、SO2、NOx、HF、SiF4、HCl、Cl2、NH3、Hg蒸气、酸雾、沥青烟及有机蒸气。

  如冶金行业的焦炉煤气、高炉煤气、转炉煤气、发生炉煤气净化，化工行业的工业气体净化，机电行业的苯及其衍生物等有机蒸气净化，电力行业的烟气脱硫净化等等。

  吸附法多用于低浓度有害化学气体的净化，并实现其回收与利用。如机械、仪表、轻工和化工等行业，对苯类、醇类、酯类和酮类等有机蒸气的气体净化与回收工程，已大范围的应用，吸附效率在90%～95%.

  袋滤法是一种高效净化方法，一般适用工业气体的除尘净化，如以金属氧化物（Fe2O3等）为代表的烟气净化。该方法还可以用做气体净化的前处理及物料回收装置。

  静电法是粒子在电场作用下，带荷电后，粒子向沉淀极移动，带电粒子碰到集尘极即释放电子而呈中性状态附着集尘板上，从而被捕捉下来，完成气体净化的方法。静电法分为干式净化工艺和湿式净化工艺，按其构造形式又可分为卧式和立式。以静电除尘器为代表的静电法气体进化设施清灰方法，在供电设备清灰和粉尘回收等方面应用较多。

  燃烧法是将有害化学气体中的可燃成分与氧结合，进行燃烧，使其转化为CO2和H2O，达到气体净化与无害物排放的方法。

  燃烧法适用于有害化学气体中含有可燃成分的条件，其中直接燃烧法是在一般方法难以处理，且危害性极大，一定要采取燃烧处理时采用，

  如：净化沥青烟、炼油厂尾气等；催化燃烧法大多数都用在净化机电、轻工行业产生的苯、醇、酯、醚、醛、酮、烷和酚类等有机蒸气。